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发布:2024/5/6 17:32:20 来源:shxj365


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降低成本的目的,器件厂家随着生产规模的扩大逐步要求增大硅片直径。硅单晶直径增大后,大熔硅体积,严重的热对流使单晶氧含量增大。晶体直径的增大也使结晶潜热的散发更加困难,结晶速率难以提高。为了解决这两个问题,本文在国产TDR-80单晶炉的基础上,对热场进行了局部改造,施加了新型加强复合式热屏。有限元法是一种能求得许多工程问题近似解的数值分析方法。由于拉单晶过程中投料量较大,炉体结构复杂。出于提高生产率生长Φ8“直拉硅单晶Φ8”热场研究及数值模拟\随着科学的飞速发展造价昂贵。以及提拉系统不平衡校正的方法。结合单晶炉提拉系统实际结构,进行了系统UG三维实体建模,动平衡数学建模,计算以及提拉系统动平衡配平工作。系统动平衡分析,计算的结果明,提拉系统配平效果即动平衡效果是比较好的。随后,针对某型号单晶炉提拉系统的实际结构,进行了提拉系统理论静不平衡量的大小,相位计算。

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